国家知识产权局信息显示，罗伯特·博世有限公司申请一项名为“微电子机械装置、微电子机械麦克风和用于制造微电子机械装置的方法”的专利，公开号 CN 119342404 A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明涉及一种用于进行电容式的流体压力测量的微电子机械装置，该微电子机械装置具有第一膜和第二膜，所述第一膜和所述第二膜能通过流体压力弹性地偏转，其中，在所述第一膜和所述第二膜之间构成一中空空间，在该中空空间中布置有对应电极，其中，所述对应电极具有多个径向的蚀刻通道，所述蚀刻通道从对应电极中心出发在径向上延伸至对应电极边缘延伸。此外，本发明涉及一种微电子机械麦克风和一种用于制造微电子机械的装置的方法。