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南亚科技申请具有锥形位元线接触点的存储器元件的制备方法专利,制备具有锥形位元线接触点的存储器元件

标签: 日期:2025-01-23 21:35来源:未知作者:admin
国家知识产权局信息显示,南亚科技股份有限公司申请一项名为具有锥形位元线接触点的存储器元件的制备方法的专利,公开号 CN 119277772 A,申请日期为 2023 年 8 月。 专利摘要显示,本公开提供一种存储器元件的制备方法。该制备方法包括:形成一掺杂区在一半

  国家知识产权局信息显示,南亚科技股份有限公司申请一项名为“具有锥形位元线接触点的存储器元件的制备方法”的专利,公开号 CN 119277772 A,申请日期为 2023 年 8 月。

   专利摘要显示,本公开提供一种存储器元件的制备方法。该制备方法包括:形成一掺杂区在一半导体基底中;形成一字元线以跨经该掺杂区,使得一第一源极/漏极区与一第二源极/漏极区形成在该掺杂区中以及在该字元线的相对两侧上;形成一介电罩盖层以覆盖该字元线、该第一源极/漏极区以及该第二源极/漏极区;形成一第一开口而穿过该介电罩盖层以暴露该第一源极/漏极区,其中该第一开口沿着从该介电罩盖层的一上表面向该第一源极/漏极区的一方向而具有锥形轮廓;形成一位元线接触点在该第一开口中;形成一第二开口而穿过该介电罩盖层以暴露该第二源极/漏极区;以及形成一电容器接触点在该第二开口中。

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