国家知识产权局信息显示，中微半导体设备股份有限公司取得一项名为“一种气体喷淋头及化学气相沉积设备”的专利，授权公告号 CN 115478261 B，申请日期为 2021 年 5 月。
天眼查资料显示，中微半导体设备股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本62236.3735万人民币，实缴资本61927.9423万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备股份有限公司共对外投资了27家企业，参与招投标项目65次，知识产权方面有商标信息71条，专利信息1447条，此外企业还拥有行政许可71个。