五矿证券指出，光刻胶、碳化硅、氮化镓、氧化镓等半导体材料被列入“商业管制清单”，然而我国国内部分关键半导体材料国产化率仍然较低，市场格局分散。国家通过政策、基金等方式，坚定支持我国实现半导体产业链的自主可控。伴随半导体技术发展，新能源、AI等市场需要，国产化率较低的高端光刻胶、掩膜版、先进封装材料、前驱体、三/四代半导体在半导体产业链自主可控中扮演的角色越来越重要，市场空间可观，兼具战略及商业价值。
截至6月26日，半导体产业ETF近1年净值上涨36.33%，指数股票型基金排名474/2883，居于前16.44%。从收益能力看，截至2025年6月26日，半导体产业ETF自成立以来，最高单月回报为20.82%，最长连涨月数为3个月，最长连涨涨幅为45.46%，涨跌月数比为7/6，上涨月份平均收益率为9.32%，历史持有1年盈利概率为100.00%。截至2025年6月26日，半导体产业ETF成立以来超越基准年化收益为1.50%。
截至2025年6月20日，半导体产业ETF成立以来夏普比率为1.05。
回撤方面，截至2025年6月26日，半导体产业ETF今年以来相对基准回撤0.48%。
费率方面，半导体产业ETF管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。
跟踪精度方面，截至2025年6月26日，半导体产业ETF近2月跟踪误差为0.024%，在可比基金中跟踪精度最高。
半导体产业ETF紧密跟踪中证半导体产业指数，中证半导体产业指数从上市公司中，选取不超过40只业务涉及半导体材料、设备和应用等相关领域的上市公司证券作为指数样本，以反映半导体核心产业上市公司证券的整体表现。