流动性方面，芯片设备ETF换手3.55%，半日成交660.22万元。拉长时间看，截至6月20日，芯片设备ETF近1年日均成交815.12万元。规模方面，芯片设备ETF最新规模达1.82亿元，创近3月新高。份额方面，芯片设备ETF近1周份额增长200.00万份，新增份额位居可比基金第一。
截至6月20日，芯片设备ETF近1年净值上涨18.23%，居可比基金第一。从收益能力看，截至2025年6月20日，芯片设备ETF自成立以来，最高单月回报为20.57%，最长连涨月数为3个月，最长连涨涨幅为44.38%，上涨月份平均收益率为9.61%。
6月18日，证监会出台
国泰海通证券认为，证监会设置科创板科创成长层，展开科创板分层策略，有利于优质半导体企业在资本市场脱颖而出，配合AI与自主可控相关的产业大趋势，AI有望实现与科创共振。当前国内先进制程工艺持续迭代，AI算力芯片有望逐步转向国内晶圆代工，而中芯国际、华虹公司等晶圆厂作为布局先进制程的核心资产将有望迎来AI时代的广阔国产化替代空间。
中原证券认为，半导体国产化替代加速推进，国内半导体产业链国产化率较低的环节有望充分受益。建议关注AI算力芯片、CPU、FPGA、先进半导体设备、先进制造、先进封装、EDA软件等环节。
芯片设备ETF：紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。场外联接。