2025年6月13日，科创半导体设备ETF收涨1.02%，成交1226.35万元。净流出594.36万元，居可比基金首位。
拉长时间看，该基金近5个交易日有3天资金净流出，累计流出2644.44万元，居可比基金首位。
资金流出也带来了份额的减少，该基金最新份额较前一日减少600.00万份，达1.50亿份，居可比基金末位。与此同时，该基金最新规模跌破1.50亿元，居可比基金末位。