2025年5月30日，半导体设备材料ETF收跌1.38%，主力资金净流出1613.85万元，居可比基金第一。
拉长时间看，该基金近30个交易日有18天主力资金净流出，合计流出1.16亿元，居可比基金首位。
与此同时，该基金最新成交量为6660.21万份，最新成交额跌破7000.00万元，全市场排名较上一交易日下降37位。