国家知识产权局信息显示，拓荆科技有限公司取得一项名为“一种液态源的蒸发罐结构和沉积设备”的专利，授权公告号 CN 222411812 U，申请日期为 2023 年 12 月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种液态源的蒸发罐结构和沉积设备。蒸发罐结构包括：蒸发罐，其内部存储液态化学源，所述蒸发罐包括双层罐壁，第二层壁设置于第一层壁的外侧，所述第二层壁为铝制层；加热元件，设置于所述蒸发罐的底部，用以加热所述液态化学源；以及超声发生器，用以提供超声波促进所述液态化学源的汽化速率。通过上述蒸发罐结构，能够降低加热系统的复杂程度，实现对蒸发罐底部和侧面多区域的均匀加热以及有效保温，提升蒸发罐的温度控制稳定性，从而可以加快液态化学源在蒸发罐内的蒸发速度，提高化学源气体在混合气体内的分压，进而缩短化学源的通入时间以及沉积循环时长，提高设备的产能。
天眼查资料显示，拓荆科技有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本135253.79万人民币，实缴资本95253.78万人民币。通过天眼查大数据分析，拓荆科技有限公司参与招投标项目19次，知识产权方面有商标信息1条，专利信息199条，此外企业还拥有行政许可9个。