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瀚天天成电子科技取得外延炉承载盘定位装置专利,减少人为因素造成碳化硅外延晶片质量差的概率

标签: 日期:2025-01-22 20:49来源:未知作者:admin
国家知识产权局信息显示,瀚天天成电子科技股份有限公司取得一项名为一种外延炉承载盘定位装置的专利,授权公告号 CN 222313382 U,申请日期为2023年12月。 专利摘要显示,本实用新型公开 一种外延炉承载盘定位装 置,包括手柄、第一定位部、 第二定位部,第

  国家知识产权局信息显示,瀚天天成电子科技股份有限公司取得一项名为“一种外延炉承载盘定位装置”的专利,授权公告号 CN 222313382 U,申请日期为2023年12月。

   专利摘要显示,本实用新型公开 一种外延炉承载盘定位装 置,包括手柄、第一定位部、 第二定位部,第一定位部位 于第二定位部下方,第一定 位部用于与外延炉的旋转基 座接触匹配,第二定位部用 于与衬底承载盘接触匹配, 第一定位部与外延炉的旋转 基座接触定位的同时将衬底承载盘拨动至与第二定位部接触 以定位,从而实现衬底承载盘与外延炉的旋转基座同轴。通过 以外延炉的旋转基座为辅助,确保衬垫承载盘被拨动至正确位 置,减少人为因素造成碳化硅外延Wafer质量差的概率。

   天眼查资料显示,瀚天天成电子科技股份有限公司,成立于2011年,位于厦门市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本38819.2129万人民币,实缴资本38819.2129万人民币。通过天眼查大数据分析,瀚天天成电子科技股份有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目53次,知识产权方面有商标信息20条,专利信息66条,此外企业还拥有行政许可67个。

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