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江苏先导微电子科技取得热盘升降机构专利,能够实现控制热盘升降的同时占用较少横向空间

标签: 日期:2025-02-26 12:37来源:未知作者:admin
国家知识产权局信息显示,江苏先导微电子科技有限公司取得一项名为一种热盘升降机构的专利,授权公告号 CN 222476722 U,申请日期为 2023 年 11 月。 专利摘要显示,本申请涉及半导体真空镀膜技术领域,具体公开了一种热盘升降机构,包括:支撑组件、升降组

  国家知识产权局信息显示,江苏先导微电子科技有限公司取得一项名为“一种热盘升降机构”的专利,授权公告号 CN 222476722 U,申请日期为 2023 年 11 月。

   专利摘要显示,本申请涉及半导体真空镀膜技术领域,具体公开了一种热盘升降机构,包括:支撑组件、升降组件与热盘;所述支撑组件包括:座体;所述升降组件包括:电机、丝杆与底座;所述丝杆竖直设置且可转动设置于所述座体上;所述底座沿竖直方向可滑动连接所述座体且捏合连接所述丝杆;所述电机设置于所述座体上且传动连接所述丝杆,用于带动所述丝杆转动;所述热盘沿竖直方向可滑动连接所述座体,且所述热盘的底部抵接所述底座。本方案通过电机带动丝杆转动的方式带动底座升降,并由座体为底座的升降提供导向作用,能够实现控制热盘升降的同时占用较少的横向空间,有效解决现有的真空炉升降结构占用横向空间较大的问题。

   天眼查资料显示,江苏先导微电子科技有限公司,成立于2021年,位于徐州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本58824万人民币,实缴资本58824万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏先导微电子科技有限公司参与招投标项目11次,知识产权方面有商标信息3条,专利信息94条,此外企业还拥有行政许可13个。

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