2025年6月6日，半导体设备ETF收涨0.24%，成交6796.69万元。净流入3428.73万元，居可比基金第一。
拉长时间看，该基金近5个交易日有3天资金净流入，合计吸金3401.47万元，居可比基金首位。
资金流入也助力了份额的提升，该基金最新份额较前一日增加2700.00万份，突破6.80亿份，居可比基金首位。与此同时，该基金最新规模突破8.60亿元，居可比基金首位。