2025年6月6日，半导体设备ETF基金收跌0.08%，成交1755.81万元。净流入1443.48万元，居可比基金首位。
拉长时间看，该基金连续5天资金净流入，合计吸金2513.34万元，居可比基金首位。
资金流入也助力了份额的提升，该基金最新份额较前一日增加1200.00万份，突破1.70亿份，创近3个月新高。与此同时，该基金最新规模突破2.10亿元，创近6个月新高。