2025年6月3日，半导体设备材料ETF收涨1.20%，成交9430.60万元。净流出3128.83万元，居可比基金首位。
拉长时间看，该基金连续3天资金净流出，累计流出5536.93万元，居可比基金首位。
资金流出也带来了份额的减少，该基金最新份额较前一日减少3100.00万份，达22.05亿份。与此同时，该基金最新规模达22.25亿元。