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上海华力申请改善器件漏电的方法专利,解决特高压PMOS及超高压PMOS器件易漏电问题

标签: 日期:2025-02-23 08:40来源:未知作者:admin
国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为改善器件漏电的方法的专利,公开号CN 119403210 A,申请日期为2024年10月。 专利摘要显示,本发明提供一种改善器件漏电的方法,方法包括:提供一半导体衬底,半导体衬底用于集成NMOS器件及

  国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“改善器件漏电的方法”的专利,公开号CN 119403210 A,申请日期为2024年10月。

   专利摘要显示,本发明提供一种改善器件漏电的方法,方法包括:提供一半导体衬底,半导体衬底用于集成NMOS器件及PMOS器件,且先形成NMOS器件再形成PMOS器件,NMOS器件至少包括超高压NMOS器件及特高压NMOS器件,且在NMOS器件还包括其他NMOS器件时,先形成其他NMOS器件最后再形成超高压NMOS器件及特高压NMOS器件,PMOS器件至少包括超高压PMOS器件及特高压PMOS器件,且在PMOS器件还包括其他PMOS器件时,先形成其他PMOS器件最后再形成超高压PMOS器件及特高压PMOS器件;在通过离子注入工艺形成超高压PMOS器件及特高压PMOS器件的源漏极时,先注入氟离子,再注入BF2离子通过本发明解决了现有的特高压PMOS器件及超高压PMOS器件易漏电的问题。

   天眼查资料显示,上海华力集成电路制造有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币,实缴资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2067次,专利信息2205条,此外企业还拥有行政许可343个。

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