2025年6月12日，半导体设备ETF收跌1.37%，成交4611.13万元。净流入1588.47万元，居可比基金第一。
拉长时间看，该基金连续2天资金净流入，合计吸金1712.39万元，居可比基金首位。
资金流入也助力了份额的提升，该基金最新份额较前一日增加1300.00万份，突破7.10亿份，居可比基金首位。与此同时，该基金最新规模突破8.70亿元，居可比基金第一。