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上海新阳：ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中

标签： 日期：2023-01-28 18:08来源:未知作者:admin
上海新阳在互动表示，公司KrF光刻胶已批量化生产销售，ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中，EUV光刻胶尚在开发阶段。

　　上海新阳在互动表示，公司KrF光刻胶已批量化生产销售，ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中，EUV光刻胶尚在开发阶段。

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